08 Oct MNE Best Poster Awards 2019
Advance Nanopatterning:
SEM ispezione dei dispositivi nanowire: Ispezione di contatto, Resistenza e Cpacitance Misurazione e valutazione del carico di punta
Takeyoshi Ohashi1, Kazuhisa Hasumi2, Masami Ikota2, Gian Lorusso3, Hans Mertens3, Liesbeth Witters3, Naoto Horiguchi3
1Hitachi, Ltd.,
2Hitachi High-Technologies Corporation,
3imec
Nanofabricazione per funzionalità:
Membrane di dissalazione idrofobiche da materiali idrofili comuni
Zain Ahmad, Ratul Das, Sankara Arunachalam, Ulrich Buttner, Himanshu Mishra
King Abdullah University of Science and Technology, Arabia Saudita
Nanodevies – MEMS e loro applicazioni:
Microprobe tattile 3D con cinematica isotropica per micro metrologia industriale
David Metz1, Stephan Jantzen2, Karin Kniel2, Martin Stein2, Andreas Dietzel1
1Technische University Braunschweig, Institute of Microtechnology,
2Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Dipartimento di metrologia coordinata
Lab-on-a-chip / Nanofabrication per applicazioni Life Science:
Studi di internalizzazione e fattibilità di chip di silicio nanofili sospesi in celle HeLa
Sara Duran1, Marta Duch1, Rodrigo Gomez1, Marta Fernandez1, Manuel Reina2, Claudia Müller2, Alvaro San Paulo3, Jaume Esteve1, Susana Castel2, Jos. Antonio Plaza1 1Istituto
di microelettronica di Barcellona IMB -CNM, (CSIC),
2Departament de Biologia Cellular, Universitat de Barcelona, 3Instituto de Microelectronica de Madrid, IMMCNM (CSIC)
Advance Nanopatterning:
Ispezione SEM di dispositivi Nanowire: ispezione dei contatti, misurazione della resistenza e della capacità e valutazione della deformazione
Takeyoshi Ohashi 1 , Kazuhisa Hasumi 2 , Masami Ikota 2 , Gian Lorusso 3 , Hans Mertens 3 , Liesbeth Witters 3 , Naoto Horiguchi 3
1 Hitachi, Ltd.,
2 Hitachi High-Technologies Corporation,
3 imec
Nanofabricazione per funzionalità:
Membrane di dissalazione idrofobiche da materiali idrofili comuni
Zain Ahmad, Ratul Das, Sankara Arunachalam, Ulrich Buttner, Himanshu Mishra
King Abdullah University of Science and Technology, Arabia Saudita
Nanodevies – MEMS e loro applicazioni:
Microprobe tattile 3D con cinematica isotropica per micro metrologia industriale
David Metz 1 , Stephan Jantzen 2 , Karin Kniel 2 , Martin Stein 2 , Andreas Dietzel 1
1 Technische University Braunschweig, Institute of Microtechnology,
2 Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Dipartimento di metrologia coordinata
Lab-on-a-chip / Nanofabrication per applicazioni Life Science:
Studi di internalizzazione e fattibilità di chip di silicio a nanofili sospesi in celle HeLa
Sara Duran 1 , Marta Duch 1 , Rodrigo Gomez 1 , Marta Fernandez 1 , Manuel Reina 2 , Claudia Müller 2 , Alvaro San Paulo 3 , Jaume Esteve 1 , Susana Castel 2 , Jos. Antonio Plaza 1
1 Istituto di microelettronica di Barcellona IMB-CNM, (CSIC),
2 Departament de Biologia Cellular, Universitat de Barcelona, 3Instituto de Microelectronica de Madrid, IMMCNM (CSIC)